技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为光阻液烘烤装置。
背景技术
光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。光阻有两种，正向光阻和负向光阻。很多半导体生产过程中需要在其表面均匀的喷涂光阻液，将光阻液烘干后形成电阻层。
现有的光阻烘箱，大多是采用电驱动发热，直接发出热光对产品表面进行烘烤，内部半导体元件容易受到影响，且产品的正面和背面经常由于烘烤时受热时间的差异和次序的不同导致表面电阻层有缺陷，因此我们研发一种以干燥的热气流为烘干介质的光阻烘干装置。使产品的表面同步烘烤，同时烘烤均匀。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供光阻液烘烤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：光阻液烘烤装置，包括烘烤箱体，所述烘烤箱体正面开设有密封门，所述烘烤箱体的下表面安装有多个支撑腿，所述烘烤箱体包括位于其顶部的顶盖板，所述烘烤箱体的内底壁为倾斜型漏斗状，所述烘烤箱体的下表面固定连接有连通其内部的清理管，所述烘烤箱体的内侧壁嵌设有轴承圈，所述轴承圈的内环固定连接有分流圆环管，所述分流圆环管为横截面为直角梯形的管状圆形结构，所述分流圆环管的内弧面固定连接若干与其内部连通的分流管，所述分流圆环管的外弧面上端固定连接有外齿轮环，所述烘烤箱体的右侧面设置有通过外齿轮环驱动分流圆环管转动的驱动机构；所述分流圆环管的下表面开设有多个进气孔，所述进气孔的正下方设置有热源管，所述顶盖板的中心部位嵌设有轴承，所述轴承的内环固定有转动架，所述顶盖板的上表面固定连接有驱动转动架旋转的伺服电机，所述顶盖板的上表面固定连接有与其内部连通的排气管。
优选的，所述密封门的材质为钢化透明玻璃，所述清理管的出口处螺纹连接有螺旋密封盖。
优选的，所述驱动机构包括开设在烘烤箱体有侧面的通孔和固定连接在烘烤箱体右侧面的驱动电机，所述通孔的内部转动连接有垂直转轴，所述垂直转轴的轴杆表面固定连接有同步轮和驱动齿轮，所述驱动齿轮和外齿轮环啮合，所述同步轮通过同步带与驱动电机的输出轴传动连接。
优选的，所述热源管固定连接在烘烤箱体的左侧面并延伸至分流圆环管的下表面开设有气流通孔，所述气流通孔与进气孔的距离为0.1cm-0.2cm之间，所述热源管远离烘烤箱体的另一端固定连接有脱水热风机。
优选的，所述转动架是由多个圆环状的网盘和一个主轴杆组成，所述主轴杆的顶部与伺服电机的输出轴固定连接。
优选的，所述烘烤箱体的内底壁固定固定连接有用于支撑转动架的支撑架，所述支撑架的上表面固定连接有用于连接转动架主轴杆的轴承。
有益效果
本实用新型提供了光阻液烘烤装置，具备以下有益效果：
1.该光阻液烘烤装置，采用脱水热风机将空气加热，并去除空气中的水分子，将热气输送至烘烤箱体内部来对产品表面的光阻液进行烘干，使其固化，该烘烤装置的烘烤箱体，表面设置有钢化玻璃材质的密封门，便于观察内部情况，采用驱动电机带动整体分流圆环管转动，使热气均匀的对转动架上表面的产品进行烘干，采用热气烘干的好处在于热介质与产品为包裹式接触，使其由外向内均匀干燥，避免光阻缺点的产生。
2.该光阻液烘烤装置，还设置了排气管连接风机，将热风抽走，其表面设置有温度显示器，可以很直管的观察到内部的温度，烘烤箱体的底部设置有清理管，使该烘烤箱体内部清理产生的废水便于流出。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型正剖结构示意图；
图3为图2中A处放大结构示意图；
图4为图2中B处放大结构示意图；
图5为本实用新型的转动架结构示意图。
图中：1烘烤箱体、2密封门、3支撑腿、4顶盖板、5清理管、6轴承圈、7分流圆环管、8分流管、9外齿轮环、10进气孔、11热源管、12轴承、13转动架、14伺服电机、15排气管、16驱动电机、17垂直转轴、18同步轮、19驱动齿轮、20气流通孔、21支撑架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：光阻液烘烤装置，包括烘烤箱体1，烘烤箱体1正面开设有密封门2，密封门2的材质为钢化透明玻璃，烘烤箱体1的下表面安装有多个支撑腿3，烘烤箱体1包括位于其顶部的顶盖板4，烘烤箱体1的内底壁为倾斜型漏斗状，烘烤箱体1的下表面固定连接有连通其内部的清理管5，清理管5的出口处螺纹连接有螺旋密封盖，烘烤箱体1的内侧壁嵌设有轴承圈6，轴承圈6的内环固定连接有分流圆环管7，分流圆环管7为横截面为直角梯形的管状圆形结构，分流圆环管7的内弧面固定连接若干与其内部连通的分流管8，分流圆环管7的外弧面上端固定连接有外齿轮环9，烘烤箱体1的右侧面设置有通过外齿轮环9驱动分流圆环管7转动的驱动机构；驱动机构包括开设在烘烤箱体1有侧面的通孔和固定连接在烘烤箱体1右侧面的驱动电机16，通孔的内部转动连接有垂直转轴17，垂直转轴17的轴杆表面固定连接有同步轮18和驱动齿轮19，驱动齿轮19和外齿轮环9啮合，同步轮18通过同步带与驱动电机16的输出轴传动连接。
分流圆环管7的下表面开设有多个进气孔10，进气孔10的正下方设置有热源管11，顶盖板4的中心部位嵌设有轴承12，轴承12的内环固定有转动架13，顶盖板4的上表面固定连接有驱动转动架13旋转的伺服电机14，转动架13是由多个圆环状的网盘和一个主轴杆组成，主轴杆的顶部与伺服电机14的输出轴固定连接，顶盖板4的上表面固定连接有与其内部连通的排气管15，热源管11固定连接在烘烤箱体1的左侧面并延伸至分流圆环管7的下表面开设有气流通孔20，气流通孔20与进气孔10的距离为0.1cm-0.2cm之间，热源管11远离烘烤箱体1的另一端固定连接有脱水热风机。
烘烤箱体1的内底壁固定固定连接有用于支撑转动架13的支撑架21，支撑架21的上表面固定连接有用于连接转动架13主轴杆的轴承。
工作原理：当使用该装置来对光阻液烘干固化时，首先打开密封门2，将表面喷涂有电阻液的产品放置到转动架13上，然后关闭密封门2，打开脱水热风机将热气流通过热源管11上表面开设的进气孔10和气流通孔20输送至分流圆环管7的内部，通过多个位于分流圆环管7内弧面的分流管8使热气流均匀的输送至烘烤箱体1内部的每一处，同时通过伺服电机14带动分流圆环管7旋转，使热气流的输送均匀化，同时烘烤的同时避免气流的冲击力过大可以使用驱动电机16驱动转动架13带动产品旋转，降低气流的冲击力，防止产品表面的光阻液被产生流动，驱动电机16和伺服电机14的转速都是非常缓慢的，通过设置清理管5，使烘烤箱体1的内部便于清理维护排出污水。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
